物理性质
性状：无色，有刺激性臭味的气体，在空气中微弱发烟。
熔点（℃）：-39.4。
升华温度（℃）：-39.8。
临界温度（℃）：73.3。
临界压力（MPa）：4.18。
合成方法
制法 POCl3+3HF→POF3+3HCl
在双颈圆底烧瓶上安装石英冷凝器，冷凝器上口用石英管与液态氧冷却的冷阱相连。冷阱出口接KF干燥管。用一根铁的毛细管穿过橡皮塞进入圆底烧瓶底部。将POCl3放入烧瓶中，加入5%(质量)SbCl5催化剂，将气态的HF通过铁毛细管通入POCl3中，反应温度保持在50～65℃。收集在冷阱中的产物(POF3+3HCl)，可经过几次分馏把它们分离出来。收率约为90%(按POCl3计)。
安全信息
安全标识：S26 S45 S36/S37/S39
危险标识：R14 R34 R36/37/38